紅外金平面反射爐該系列應用廣泛,從碳納米管生產系統(tǒng)到產線生系統(tǒng);平面金反射爐可用于2~12英寸圓晶的退火爐和產品的烘干爐;
RTP快速退火爐已經成為半導體、鐵電體以及鍍膜行業(yè)的重要退火技術。但是目前,只有大型的、昂貴的生產設備才能完成快速熱處理,這大大降低了研發(fā)工作的效率(尤其是小的樣品)。為了滿足市場的需求,ADVANCE RIKO研發(fā)出MILA-5000系列的小型快速退火爐。此系列的設備包含紅外金面反射爐和高精度的溫度控制器。根據需求選配相應的泵和氣體接口,MILA能提供與大型RTP設備相同的熱處理性能。
高溫快速熱退火爐HT-RTA59HD高溫快速退火系統(tǒng)可以在SiC等高熔點的材料快速加熱到1800℃。
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